在半导体封装、精密电子、新能源电池、光学镀膜及材料烧结领域，无尘无氧化烤箱集高洁净度、惰性气氛保护与精准温控于一体，为敏感材料提供无污染、无氧化的加热环境，运行质量直接影响产品良率与性能稳定性。掌握
无尘无氧化烤箱科学、规范的操作方法，是确保其高效的关键。
第一步：环境准备与气源确认
将设备置于洁净车间或独立通风区，远离粉尘与振动源。检查氮气（N2）或氩气（Ar）气源压力是否充足（通常≥0.4MPa），管道连接牢固无泄漏。确认排气口接入专用废气处理系统，避免有害气体积聚。
第二步：开机自检与气氛置换
接通电源，开启总开关。启动控制系统，进行系统自检。关键步骤：开启惰性气体阀门，执行“预吹扫”程序（通常10–30分钟），用高纯气体（≥99.999%）置换腔体内空气，将氧含量降至设定阈值（如＜10ppm）。通过氧分析仪实时监测，确保气氛达标。
第三步：装载物料与密封操作
佩戴洁净手套，使用无尘工具将待烘物料（如晶圆、电极片、陶瓷生坯）放入石英或不锈钢舟皿中。轻缓推入炉膛，避免震动产生颗粒。关闭炉门，手动或自动锁紧密封结构，确保腔体气密性。严禁在无气体保护下加热。
第四步：参数设定与程序启动
通过触摸屏设定工艺曲线：
温度：设定升温速率、恒温温度（如150℃、300℃、600℃）与保温时间；
气氛：设定气体流量（如5–20L/min）与压力（微正压）；
时间：可设置多段升温-保温-降温程序。
确认无误后启动运行，系统自动执行控温与气氛维持。
第五步：运行监控与过程记录
观察温度曲线、气体流量与氧含量实时数据，确保在设定范围内。部分型号支持远程监控与报警推送。严禁在运行中频繁开门，防止氧气侵入与温度骤降。
第六步：降温与取料
程序结束后，系统自动降温。关键步骤：保持惰性气体持续通入，直至炉温降至安全温度（如＜80℃），防止高温物料接触空气氧化。确认氧含量稳定后，方可开门取料。取出物料后立即密封包装，避免二次污染。
更新时间：2025-09-17 
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